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Veröffentlichung:	Oktober 2001
Genre:	Naturwissensch., Medizin, Technik
	Components & Devices / Electrical & Electronics Engineering / Elektrotechnik u. Elektronik / Komponenten u. Bauelemente / Mikroelektronik / Vakuumelektronik / Vakuumtechnik
ISBN:	9780471322443
EAN-Code:	9780471322443
Verlag:	Wiley
Einband:	Gebunden
Sprache:	English
Dimensionen:	H 242 mm / B 160 mm / D 25 mm
Gewicht:	711 gr
Seiten:	416
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Inhalt:

Die ständig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bewältigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit grösserer Reinheit und zuverlässiger herstellen und zusammenfügen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigegeräten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet!