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Veröffentlichung:	Dezember 1996
Genre:	Naturwissensch., Medizin, Technik
ISBN:	9780471185987
EAN-Code:	9780471185987
Verlag:	Wiley
Einband:	Gebunden
Sprache:	English
Dimensionen:	H 240 mm / B 161 mm / D 16 mm
Gewicht:	495 gr
Seiten:	200
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Inhalt:

The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis.