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Principles of Lithography
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(Buch) |
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| Lieferstatus: |
 Vorankündigung |
| Veröffentlichung: |
ANGEKÜNDIGT
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| Genre: |
Naturwissensch., Medizin, Technik |
| ISBN: |
9781510627604 |
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EAN-Code:
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9781510627604 |
| Verlag: |
SPIE Press |
| Einband: |
Gebunden |
| Sprache: |
English
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| Serie: |
Press Monographs |
| Dimensionen: |
H 185 mm / B 262 mm / D 31 mm |
| Gewicht: |
1422 gr |
| Seiten: |
630 |
| Bewertung: |
Keine Bewertung vor Veröffentlichung möglich.
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| Inhalt: |
| This newest edition of Principles of Lithography reflects the continuing advancement of lithographic technology. In recent years, certain topics, such as line-edge roughness (LER), multi-electron-beam writers, have become more significant to practicing lithographers. As such extensive treatments of these topics are provided. |
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