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Lieferstatus:	Auf Bestellung (Lieferzeit unbekannt)
Veröffentlichung:	Dezember 2010
Genre:	Naturwissensch., Medizin, Technik
	C / Computer modelling & simulation / computer science / Computer simulation / Electronics / Electronics and Microelectronics, Instrumentation / Electronics engineering / engineering / Microelectronics / Microsystems and MEMS / Nanotechnology / Nanotechnology and Microengineering / Numerical analysis / Simulation and Modeling
ISBN:	9783642055362
EAN-Code:	9783642055362
Verlag:	Springer Nature EN
Einband:	Kartoniert
Sprache:	English
Serie:	Microtechnology and MEMS
Dimensionen:	H 235 mm / B 155 mm / D
Gewicht:	433 gr
Seiten:	270
Zus. Info:	Previously published in hardcover
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Inhalt:

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.