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Veröffentlichung:	November 2010
Genre:	Naturwissensch., Medizin, Technik
	Chemical Engineering / chemische Verfahrenstechnik / Electrical & Electronics Engineering / Electronic materials / Elektronische Materialien / Elektrotechnik u. Elektronik / Lithographie / Process Development / Verfahrensentwicklung / Verfahrenstechnik mehr...
ISBN:	9781848212022
EAN-Code:	9781848212022
Verlag:	Wiley
Einband:	Gebunden
Sprache:	English
Dimensionen:	H 236 mm / B 164 mm / D 27 mm
Gewicht:	744 gr
Seiten:	404
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Inhalt:

Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.