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Veröffentlichung:	September 1999
Genre:	Naturwissensch., Medizin, Technik
ISBN:	9780471973867
EAN-Code:	9780471973867
Verlag:	John Wiley & Sons
Einband:	Gebunden
Sprache:	English
Dimensionen:	H 235 mm / B 157 mm / D 29 mm
Gewicht:	831 gr
Seiten:	424
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Inhalt:

Plasmen, die Staubpartikel enthalten, werden in der Werkstoffverarbeitung seit einigen Jahren verstärkt eingesetzt; so beim Wachstum dünner Filme, beim Ätzen und bei der Oberflächenbehandlung. Das vorliegende Werk ist das erste, das sich ausschliesslich diesem Thema widmet. Ausgehend von den physikalischen Grundlagen der Plasmaentstehung in verschiedenen Quellen werden die Eigenschaften der Medien diskutiert; der letzte Teil geht auf die wichtigsten Anwendungsfelder ein. (06/99)