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Autor(en): 
  • Anurag Mishra
  • Transient Properties of HiPIMS Discharges 
     

    (Buch)
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    Übersicht

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    Lieferstatus:   i.d.R. innert 5-10 Tagen versandfertig
    Veröffentlichung:  Mai 2014  
    Genre:  Naturwissensch., Medizin, Technik 
    ISBN:  9783639716467 
    EAN-Code: 
    9783639716467 
    Verlag:  Scholars' Press 
    Einband:  Kartoniert  
    Sprache:  English  
    Dimensionen:  H 220 mm / B 150 mm / D 13 mm 
    Gewicht:  334 gr 
    Seiten:  212 
    Zus. Info:  Paperback 
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    Inhalt:
    HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) is a relatively new highly ionized sputtering technique used to deposit engineering quality thin films, with the advantage that the deposition flux can be guided to the substrate through the electrical biasing. As the technique is on the verge of being adopted by the industries, it is necessary to understand its physics very well so that thin films with tailored properties can be deposited. Therefore, time-resolved diagnostic studies have been carried out to get better physical insight of the HiPIMS processes. This book also provides information of lower deposition rates in HiPIMS discharge and suggests its solutions.

      



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