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Autor(en): 
  • Victor E. Borisenko
  • Peter J. Hesketh
  • Rapid Thermal Processing of Semiconductors 
     

    (Buch)
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    Übersicht
     
    Lieferstatus:   i.d.R. innert 5-10 Tagen versandfertig
    Genre:  Naturwissensch., Medizin, Technik 
    ISBN:  9781489918062 
    EAN-Code: 
    9781489918062 
    Verlag:  Springer Us 
    Einband:  Kartoniert  
    Sprache:  English  
    Dimensionen:  H 235 mm / B 155 mm / D 20 mm 
    Gewicht:  579 gr 
    Seiten:  384 
    Zus. Info:  Book 
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    Inhalt:
    Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

      
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