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Herausgeber:
Smith Bruce W.
Suzuki Kazuaki
Microlithography: Science and Technology
(Buch)
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Lieferstatus:
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Veröffentlichung:
Juni 2024
Genre:
Naturwissensch., Medizin, Technik
Acid diffusion
/
advanced patterning methods
/
Alignment Mark
/
American Chemical Society
/
block copolymer self-assembly
/
Cycle Time
/
Dissolution Rate
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EDA Tool
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Electronics engineering
/
EUV Light
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EUV Photon
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EUV Source
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Exposure Time
/
Exposure Tool
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Fused Silica
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Lens Element
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LER
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Lithography Simulation
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Mask Blank
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nanofabrication metrology
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nanoscale imaging process optimization
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Non
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Novolac Resins
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Optical physics
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Optical Proximity Correction
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PAG
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PEB
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photolithography techniques
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polymer chemistry applications
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Pupil Filtering
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semiconductor process engineering
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Sidewall Angle
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TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electrical
/
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Circuits / General
/
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / General
/
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics
/
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Lasers & Photonics
mehr...
ISBN:
9781032836737
EAN-Code:
9781032836737
Verlag:
Taylor and Francis
Einband:
Kartoniert
Sprache:
English
Dimensionen:
H 254 mm / B 178 mm / D 46 mm
Gewicht:
1660 gr
Seiten:
850
Illustration:
schwarz-weiss Illustrationen
Bewertung:
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Inhalt:
Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.
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